关于无尘室的基本概述

2020-10-25

    无尘室中不论外在之空气条件怎么变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。无尘室最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制作,此空间日博网站称之为无尘室。

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    按照世界惯例,无尘净化等级主要是根据每立方米空气中粒子直径大于区分规范的粒子数量来规则。也便是说所谓无尘并非100%没有一点尘埃,而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个规范中符合尘埃规范的颗粒相关于日博网站常见的尘埃已经是小的微乎其微。


    可是关于光学结构而言,哪怕是一点点的尘埃都会发生非常大的负面影响,所以在光学结构产品的生产上,无尘是必定的要求。如表所示,每立方米将大于0.5微米粒径的微尘数量控制在3500个以下,就达到了世界无尘规范的A级。


    应用在芯片级生产加工的无尘规范关于尘埃的要求高于A级,这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内,这也便是业内俗称的1K等级。


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